Donanım

SIMS (Secondary Ion Mass Spectrometry / İkincil İyon Kütle Spektrometresi)
EPMA (Electron Probe Micro Analysis / Elektron Prob Mikro Analiz)
XRD (X-Ray Diffraction / X Işınları Difraktometresi)
PVD-CVD (Plasma Vapor Deposition – Chemical Vapor Deposition)
ICP (Inductively Coupled Plasma Spectroscopy / Endüktif Kuplajlı Plazma Spektrometresi)
Micro Hardness Measurement (Mikro sertlik ölçüm cihazı)